無塵車間工程：對(duì)于過濾器檢的測(cè)試

無塵車間工程設(shè)施過濾器系統(tǒng)檢漏這項(xiàng)測(cè)試旨在驗(yàn)證設(shè)施不存在旁路泄漏，過濾器不存在缺陷（過濾器介質(zhì)和密封框架上的小眼及其他損傷）與泄漏（過濾器框架和密封墊圈上的旁路泄漏，過濾器安裝架的泄漏），從而確認(rèn)終端高效過濾器安裝良好。

無塵車間工程程測(cè)試是這樣進(jìn)行的：在過濾器上風(fēng)向引入測(cè)試氣溶膠，并立即在過濾器的下風(fēng)向?qū)^濾器、其支撐架進(jìn)行掃描，或在下風(fēng)向的風(fēng)管中采樣。B．6中給出了2種不同的檢漏方法。氣流目檢這項(xiàng)測(cè)試的目的旨在確定設(shè)施內(nèi)氣流的平穩(wěn)度、氣流模式及氣流在空間與時(shí)間上的其他特性。測(cè)試程序見B.7。風(fēng)向測(cè)試這項(xiàng)測(cè)試，旨在檢驗(yàn)整個(gè)單向流潔凈區(qū)的風(fēng)向。測(cè)試程序見B.8。“4.2.7溫度與濕度均勻性測(cè)試這項(xiàng)測(cè)試旨在證明潔凈室空氣處理系統(tǒng)在所測(cè)區(qū)域內(nèi)、在客戶規(guī)定的時(shí)間段里將空氣的溫度和濕度（以相對(duì)濕度或露點(diǎn)表示）控制在限值以內(nèi)的能力。這些測(cè)試的程序見B.9與B．lo。

靜電和離子發(fā)生器測(cè)試這些測(cè)試旨在檢定物體上的靜電電壓、材料的防靜電性，在設(shè)施中進(jìn)行靜電控制所使用的離子發(fā)生器（即電離器）的性能。靜電測(cè)試旨在檢定工作表面和產(chǎn)品表面的靜電電壓，地板、工作臺(tái)頂部的防靜電性能等。離子發(fā)生器瀏試旨在檢定離子發(fā)生器對(duì)表面靜電的清除性能。測(cè)試程序。