1、半導(dǎo)體集成電路要求的空氣潔凈度等級(jí)

集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級(jí)主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級(jí)是依據(jù)可能污染的概率和對(duì)器件的潛在故障確定的。

舉例說(shuō)明：

例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.

無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級(jí)要求：

光刻、勻膠區(qū)                                                                          ISO 3級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等操作區(qū)                      ISO 3級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū)                      ISO 5級(jí)

例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.

無(wú)塵車(chē)間工程空氣潔凈度等級(jí)要求：

光刻、勻膠區(qū)                                                                           ISO 3級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等操作區(qū)                       ISO 4級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū)                       ISO 6級(jí)

2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)

隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過(guò)程的微細(xì)化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級(jí)和控制無(wú)塵車(chē)間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類(lèi)高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國(guó)內(nèi)外還沒(méi)有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級(jí)或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及無(wú)塵車(chē)間運(yùn)行的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)確定設(shè)計(jì)建造無(wú)塵車(chē)間的空氣潔凈度等級(jí)。

舉例說(shuō)明：

例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用無(wú)塵車(chē)間，TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優(yōu)點(diǎn)。

各無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級(jí)，控制粒子粒徑為0.3um

清洗、涂膠、曝光間                                                                 ISO 4級(jí)

顯影、刻蝕間                                                                             ISO 5級(jí)

成盒間                                                                                         ISO 5級(jí)

濺射、CVD間                                                                             ISO 6級(jí)

例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房、無(wú)塵車(chē)間控制微粒粒徑0.5um

各無(wú)塵車(chē)間的空氣潔凈度等級(jí)要求

涂布頭                                                                                          ISO 5級(jí)

備件、切帶、帶基、測(cè)試、涂布間和烘干、固化間              ISO 6級(jí)

組裝、維修間和部分原料庫(kù)                                                      ISO 7級(jí)

砂磨、化驗(yàn)間和配件間                                                              ISO 8級(jí)

成品庫(kù)和部分原料庫(kù)                                                                  準(zhǔn)潔凈間

3、精密機(jī)械、精細(xì)化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)

例一、一個(gè)陀螺儀生產(chǎn)用無(wú)塵車(chē)間工程

無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級(jí)要求

裝配間                                                                                            ISO  6級(jí)

軸承加工間                                                                                    ISO  5級(jí)

例二、一個(gè)感光膠片生產(chǎn)用無(wú)塵車(chē)間

流延機(jī)頭部，涂布機(jī)頭部                                                             ISO 5級(jí)

涂布室，流延機(jī)室                                                                         ISO 6級(jí)

等等......